Chemical Mechanical Planarization

Planarización mecánica de productos químicos con abrasivos de sol de sílice

La planarización mecánica de productos químicos (CMP) elimina el material de la superficie de una oblea para lograr una base de alta calidad para la siguiente capa de un circuito o como paso final de pulido. Nuestros abrasivos de sol de sílice CMP de última generación están diseñados para permitir una selectividad específica, una baja tasa de defectos y rayones, una tasa de eliminación rápida y una alta estabilidad en la formulación de la lechada. 

Ofrecemos una gama de abrasivos de sílice coloidal para CMP para cubrir diferentes necesidades de lechada para diferentes tipos de virutas y capas. Las partículas abrasivas tienen una distribución de tamaño, dureza, morfología y perfil superficial que afectan directamente las métricas críticas, incluida la tasa de eliminación y los defectos de la oblea.


Productos de sílice coloidal de alta pureza para CMP

  • Tamaño: diseñado
  • Sólido: 30 %
  • pH: 8.9-9.5
  • Estabilizado por potasio
  • Tamaño (nm): 35
  • Área en m2/gm: 85
  • % de sólidos: 30 
  • pH: 9-10 
  • Estabilizador: K+
  • Tamaño (nm): diseñado 
  • Área en m2/gm: 85 
  • % de sólidos: 50 
  • pH: 9-10 
  • Estabilizador: K+
  • Tamaño (nm): diseñado 
  • Área en m2/gm: 50 
  • % de sólidos: 50 
  • pH: 8.5
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Desarrollo de productos abrasivos CMP personalizados

Nuestros equipos dedicados y con experiencia en investigación, desarrollo e ingeniería ofrecen un desarrollo personalizado de productos de sol de sílice para ofrecer soluciones que se adaptan a las necesidades y procesos comerciales específicos. Diseñamos productos que cubren una amplia gama de:

  • Tamaños de partícula
  • Distribución del tamaño de partícula
  • Catión estabilizado
  • Concentración
  • pH
  • Tipo de paquete
  • Condición de temperatura
  • Clasificación
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Calidad y consistencia del producto de sílice coloidal

Nalco Water se enfoca en la calidad, consistencia y confiabilidad en todas nuestras soluciones de sílice coloidal. Para asegurarnos de que nuestro sol de sílice funcione correctamente en las aplicaciones CMP, nos basamos en las normas IPC para guiar nuestras pruebas de control de calidad.

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Nalco Water es líder en sílice coloidal

  • Primer proceso de manufactura de sílice coloidal patentado en 1941
  • Uno de los mayores fabricantes de sílice coloidal a nivel mundial
  • Equipos innovadores de Investigación, desarrollo e ingeniería para el desarrollo de productos personalizados
  • Productos diseñados para la eficiencia, la calidad y el control de la fabricación
  • Ofrecemos un alto valor a través de un diseño innovador de partículas y soporte de calidad

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Referencias

  1. Los productos se fabricaron utilizando el enfoque de ingeniería LMSII para eliminar metales; [Cu] y [Ni] menos de 20 ppb, disponibilidad sujeta al volumen